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极限真空问题

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[LV.Master]伴坛终老

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发表于 2012-12-7 23:36:10 | 显示全部楼层 |阅读模式
遇到一个抽极限真空度问题,今天终于解决,与大家分享:原真空炉的管道真空度保不住,原因是老式压差阀在停电的过程中,阀芯不能上升,压差放气后,气体进入了真空管道,新换了一个压差阀,真空管道的真空是可以保住了,但机械泵抽极限只能到达50多Pa就不行了,原来至少要以到5Pa,真空管道可以保住,与炉体没有关系,检查了机械泵也没有问题,最后查出问题出在压差阀下部的密封圈没有装好。同样可以出现种问题的可能还有压差阀的电磁阀坏造成漏气;机械泵的阀片与泵体关闭不严造成机械泵本身内漏。

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